HCDS系列化学品供应系统，采用客制化、模块化设计，配置灵活，具有实时、高精度在线配比系统，可实现参数闭环控制，满足半导体制造过程中湿法工艺设备的清洗液等化学品供应需求，操作维护便捷，具有高可靠性、安全性和低维护保养成本，配置灵活等优点。
实时、高精度在线配比系统
各项参数闭环控制
高可靠性、安全性和低维护保养成本
配置灵活
